LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers
APLICACIONES
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Parámetros del producto
FLTZ -20℃～+90℃
| Modelo | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Temperatura | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Capacidad de refrigeración | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Potencia calorífica | 2kW | 2kW |
| Heat conducting medium flow rate | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura del agua de refrigeración | 20 l/min | 20 l/min |
| Circuit breaker | 30A | |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensión cm | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| Modelo | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Temperatura | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Capacidad de refrigeración | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| Potencia calorífica | 2kW | 6kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura del agua de refrigeración | 40L/min | 20 l/min |
| Circuit breaker | 80A | |
| Peso | 550kg | |
| Dimensión cm | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| Modelo | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Temperatura | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Capacidad de refrigeración | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Potencia calorífica | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura del agua de refrigeración | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Circuit breaker | 100A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensión cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| Modelo | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Temperatura | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Capacidad de refrigeración | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Potencia calorífica | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| Heat conducting medium flow rate | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura del agua de refrigeración | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Circuit breaker | 75A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensión cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| Modelo | FLTZ-203W/2T dual system | FLTZ-305W/2T dual system | FLTZ-406W/2T dual system | |||
| Temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Heat conducting medium flow rate | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Potencia calorífica | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacidad de refrigeración | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| Volumen del fluido circulatorio interno | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen del depósito de expansión | 15L | 25L | 25L | |||
| Heat-conducting medium | Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc | |||||
| Refrigerante | R404A/ R448 | |||||
| Heat-conducting medium interface | ZG3/4 | |||||
| Interfaz de agua de refrigeración | ZG3/4 | |||||
| Interfaz de agua de refrigeración | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Potencia | Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V | |||||
Product Advantages
- Resultados de estabilidad y repetibilidad de la producción eficientes;
- Utilización de intercambiadores de calor de placas y calentadores de tuberías para mejorar los índices de refrigeración y calefacción;
- Rango de temperatura muy amplio, sin necesidad de sustituir el medio líquido;
- Sistema totalmente cerrado que prolonga la vida útil de los líquidos conductores térmicos;
- Adoptando la bomba de accionamiento magnético, no hay problema de fugas del sello del eje;
- Tecnología de refrigeración de alta temperatura, directamente iniciar el compresor para enfriar a 300 ℃.
La bomba de frecuencia variable puede ajustar la presión hidráulica de circulación y el caudal
client output signal
Communication function
APLICACIONES
Unidad de control de temperatura del proceso FAB de semiconductores
La fabricación de semiconductores es un proceso con requisitos medioambientales extremadamente exigentes, y muchas fases del proceso son muy sensibles a la temperatura.
El control preciso de la temperatura puede garantizar un grosor uniforme y una composición exacta de las películas depositadas, mejorando así el rendimiento y las prestaciones de los chips.
for Semiconductor packaging & testing process
El proceso de envasado y ensayo de semiconductores es un eslabón clave en el proceso de producción de semiconductores, que incluye el ensayo de obleas, el envasado de chips y el ensayo posterior al envasado. Este proceso no solo requiere alta precisión y fiabilidad, sino también un estricto control de la temperatura para garantizar la calidad y el rendimiento del producto.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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